【环球网科技综合报道】据市场监管总局微信公众号消息，近日，我国纳米制造领域取得了重大突破。市场监管总局新批准了二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质以及一维硅纳米光栅标准物质三项国家一级标准物质。这些标准物质的研制成功，将同时满足纳米制造产业在角度和长度校准方面的需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准的“标尺”。

纳米制造，测量先行。高精度的纳米级标准物质是打造高准确度纳米测量传递链、提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。此次研制的二维铬纳米栅格标准物质，突破性地采用了分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，但可直接溯源到自然界的量子化物理常数（铬原子跃迁频率）。其角度绝对准确性达到了0.001°量级，这一精度相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，其耐用性极高，每次使用2μm×2μm的区域，不重复使用测量区域的次数可达20000次以上。这种标准物质可广泛应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备的校准，同时也可用于超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

纳米级角度标准物质的研制成功，标志着我国在纳米测量领域实现了扁平化计量，有效避免了传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大。这一成就使得高精度计量数据能够通过在线校准直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业的高质量发展提供了有力支撑。

未来，市场监管总局将持续强化纳米测量领域标准物质的研制和应用，进一步解决纳米制造中“测不了、测不全、测不准”的问题。此举将为筑牢新兴产业和未来产业的技术基础提供坚实的支撑和保障。