温州核芯智存申请铁电电容器的制备方法专利，提高了电容的均一性
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2024-11-15 22:02:19
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金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，温州核芯智存科技有限公司申请一项名为“一种铁电电容器的制备方法”的专利，公开号 CN 118946258 A，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本发明提供一种铁电电容器的制备方法，该制备方法包括：在晶圆一侧制备单元孔，在单元孔一侧依次进行阻隔层沉积和下电极沉积；在下电极表面进行硬掩膜制备，对硬掩膜进行等离子刻蚀至下电极表面，对下电极层和阻隔层进行刻蚀；移除硬掩膜，在下电极一侧依次进行铁电薄膜沉积、上电极沉积、板线制备和铁电介质刻蚀，得到铁电电容器。该制备方法未使用黄光刻蚀工艺，避免了制备过程中对电容孔的损伤，提高了电容的均一性，简化了制备工艺。
来源：金融界
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