近日，江苏省召开了全省科技大会暨科学技术奖励大会，公布了2023年度江苏省科学技术奖。由敏芯股份、东南大学以及中国电子科技集团共同完成的“高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器关键技术及应用”项目荣获江苏省科学技术三等奖。

江苏省科学技术奖由省人民政府设立，是江苏省科技领域的最高奖项，主要奖励在技术发明、技术开发、重大工程建设、科学技术成果推广转化、高新技术产业化、社会公益等方面取得显著经济效益或社会效益的科技项目，每一项获奖成果都代表了其所在领域的顶尖水平。

MEMS传感器具有体积小、功耗低、一致性高、成本低等特点，为智能设备的发展奠定了重要的技术基础。国家“十三五”规划提出制造强国战略，“十四五”规划正式提出打造数字经济新优势，MEMS传感器作为“卡脖子”领域的核心技术，对于数字经济的推动作用愈发重要。

高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器代表了MEMS技术在惯性传感领域的最新发展成果，这种技术革新提高了传感器的性能并降低了生产成本。其采用谐振式工作原理，结合硅基材料的高精度加工技术，实现了对物体运动状态的高精度感知和测量，在无人机、电动汽车、智能机器人等需要高精度导航和姿态控制的领域具有广泛的应用前景。

本项目突破了高性能MEMS惯性传感器结构设计、多回路全闭环式低噪声测控电路、传感器先进封装技术、惯性测量误差在线自补偿技术等关键技术，自主研制成功高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器。