近年来，出于需求增长和供应链安全等综合因素考虑，全球半导体产业的投资呈现出不断增长态势。从中国大陆到美国，从日本到东南亚，世界各地都在加码相关布局。作为半导体产业的重要一环，半导体设备投资备受关注。

半导体设备是制造半导体芯片的关键工具和基础支撑，半导体产业从硅片制造、光刻、刻蚀、离子注入到封装测试等各个环节，都离不开高度精密的半导体设备。据国际半导体产业协会（SEMI）最新数据显示，预计2024年全球半导体设备市场规模将比上一年增长6.5%，达到1130亿美元，创下历史新高，并且这一增长趋势将会持续，在2025年达到1210亿美元，2026年达到1390亿美元。

其中，SEMI预计2024年中国大陆半导体制造设备采购支出将首次突破400亿美元。面向广阔的市场，近年来中国大陆半导体产业链不断成长建设，以北方华创、中微公司、盛美半导体等为代表的一批国产设备企业正在崛起，在此过程中，企业不断增长的知识产权就是最好的见证。

专利是企业技术创新的重要保障，也是企业进行知识产权运作的重要组成部分。设备企业所获专利的先进性及是体现企业技术实力以及市场竞争优势的重要参考因素，也是证明企业科技属性的重要依据。为了给行业人士、投资机构和公众提供了解半导体设备企业的创新能力和技术竞争力更直观的参考，爱集微知识产权咨询对中国大陆半导体设备企业的专利情况进行了全面梳理，权威发布中国大陆半导体设备企业专利榜单，从多维度解读企业专利现状。

下文涉及的专利数据统计规则说明如下：

1、除另有说明外，专利数据包括“天眼查”统计的相关企业“持股比例”或“对外投资比例”50%以上主体的专利数据；

2、数据统计公开/公告日截至2024年9月30日的专利数据，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理；

3、境外专利包含向世界知识产权组织（WO）提交的专利申请和中国台湾地区（TW）专利；

4、各企业间基于相同的规则比较，但数据库收录的数据源、检索方法设定等因素均有可能造成数据结果的偏差，爱集微知识产权咨询保留最终解释权。

中国大陆半导体设备企业——创新实力榜单

国产设备企业的发展离不开技术的自研和创新，伴随知识产权重要性的提升，国产设备企业也在持续申请专利，以保护其创新成果并提升市场竞争力。相应地，专利是企业创新实力的重要体现和保障。

爱集微知识产权咨询从专利类型布局、有效性和境外布局、文献、法律和经济等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度评分，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。爱集微知识产权咨询根据企业的专利数量和爱集微专利价值度评分，计算得到各企业专利创新实力的分值，在此基础上发布中国大陆半导体设备企业创新实力榜单TOP 20。

中国大陆半导体设备企业创新实力榜TOP20中，北方华创连续三年稳居榜首，专利数量达到7568件，较去年同期的5900件大幅增长28.27%（增长1668件），以绝对优势在2024年再次拔得头筹；上海微电子、中微公司及中科院光电所位列排行榜第2~4名，其创新实力分值均超过1500分，体现了它们在技术创新和市场竞争力方面的卓越表现，创新实力值得肯定。

第5~15名中，有9家企业的专利数量超过1000件，分别是屹唐半导体、华兴源创、苏大维格、中电科第45所、拓荆科技、中电科第48所、赛腾精密、捷佳伟创以及长川科技。而2023年同期，榜单第5~15名中仅有4家专利数量超过1000件。由此可见，中国大陆半导体设备企业的创新研发实力不断增强，并对专利的重视程度不断提升。

TOP 20企业中，专利创新实力分值400分以下的由2023年的9家减少至4家，分别是中科飞测、天准科技、鲁汶仪器和华海清科。这一显著变化充分彰显了企业整体专利创新实力的大幅提升。

中国大陆半导体设备企业——国际视野榜单

在全球对安全可控、多元化供应链需求日益增长的背景下，中国大陆半导体设备企业出海已成为大势所趋，境外专利布局的重要性愈发凸显。境外专利布局不仅能有效保护企业的创新成果，防止技术被抄袭或模仿，确保企业在国际市场上的独占性和竞争优势，还能提升企业在国际市场的话语权，增强与国际客户的合作机会，进一步拓展市场份额。

爱集微知识产权咨询通过对境外专利布局的统计数据进行分析，发布了中国大陆半导体设备企业国际视野榜单TOP 10。

在该榜单中，屹唐半导体表现最为亮眼，境外布局专利数量达到1058件，境外布局比例高达83.64%；盛美半导体位列第二，境外布局专利数量为556件，境外布局比例达57.32%；从境外布局专利数量来看，中微公司、北方华创及上海微电子三大设备巨头数量均达到1000件以上，体现了这些企业较高的全球化视野以及不断完善的全球化布局。与此同时，排名第7~10名的设备企业境外布局专利数量较排名靠前企业差距较大。

值得一提的是，从事半导体测试设备技术研发、生产、销售、咨询和服务的胜达克半导体科技2024年新上榜国际视野榜TOP 10。

中国大陆半导体设备企业——行业影响力榜单

行业影响力与专利被引用数量之间存在着密切的关联。一般来说，专利的被引用次数越多，说明该专利的技术价值和影响力越大。高影响力专利通常具有较长的引用代数和较高的累积被引频次，这表明这些专利在技术发展和应用中起到了关键的推动作用。

对于企业而言，其专利被引用次数不仅体现了公司的创新实力和技术领导力，还对公司的品牌形成和市场竞争力有着显著的提升作用。爱集微知识产权咨询基于各企业被引用专利数量和被引用专利占比的合理权重，生成行业影响力得分，并发布中国大陆半导体设备企业行业影响力榜单TOP 10。

在该榜单中，赛腾精密、苏大维格及天通吉成位列前三甲，专利被引用数量分别为594、517及241件，被引用比例均超过45%，这体现了行业对其技术实力和创新能力的高度认可。值得关注的是，排名第8位的中科院光电所，专利被引用数量竟然达到1207件。这些企业的专利被频繁引用，不仅反映了其在相关技术领域的领先地位，也表明了其对半导体设备行业发展的积极贡献。

另一方面，知常光电科技虽然被引用专利总量较低，但被引用专利在所有专利中的占比最高，在一定程度上体现了其专利技术的“精品化”优势。

中国大陆半导体设备企业——成长潜力榜单

伴随着半导体行业的持续发展和市场需求的不断增长，中国大陆半导体设备产业也涌现出一批新锐企业。这些新秀在中国大陆半导体产业的发展中扮演着关键角色，通过持续的研发投入和技术创新，逐步打破了国际厂商的垄断地位，提升了国产设备的市场竞争力。爱集微知识产权咨询选择了2014年9月以后成立的半导体设备企业，基于各企业专利年产出数量和爱集微专利价值度的合理权重，生成成长潜力榜得分，发布中国大陆半导体设备企业成长潜力榜单TOP 10。

同国际视野榜单一致，屹唐半导体在该榜单中依然位列榜首，成立至今仅仅9年，屹唐半导体专利总量就达到1265件，成为新生代国产半导体设备厂商中的中坚力量。隐冠半导体虽然专利总量仅为273件，但仍排名第三位，体现了该企业不凡的综合实力。

在该榜单中，隐冠半导体、晶亦精微及亚电科技均仅仅成立5年，但专利总量也均超过200件，表明国产设备厂商的整体创新水平和研发能力显著提升。

中国大陆半导体设备企业——专利实力星级榜单

最后，爱集微知识产权咨询针对119家中国大陆半导体设备企业，在综合考虑专利数量、发明专利占比、授权专利与有效专利占比、专利海外布局、被引用比例、专利诉讼、专利转让、专利许可、专利质押、专利撰写水准等指标，进行专利实力星级评价，结果如下。