EUV光刻的三大核心技术,日本掌握2项,荷兰掌握1项
科技plus
2023-09-28 20:20:24

原标题:EUV光刻的三大核心技术,日本掌握2项,荷兰掌握1项

众所周知,目前芯片技术在2020年进入5nm后,今年已经正式全面从5nm进入了3nm,三星、台积电这两大巨头,已经实现了3nm芯片的量产,而苹果更是依托台积电,推出了3nm手机芯片A17 Pro。

事实上,不需要进入3nm,只要进入5nm,就是芯片技术的一次重大升级,因为在7nm及之前,是不需要EUV光刻系统的,但进入5nm,就必须使用EUV光刻系统。

EUV光刻系统,可不只是一台EUV光刻机这么简单,需要全套设备、材料,都是EUV体系才行,缺一不可。

其中整个EUV光刻,就有三大核心技术,分别是EUV光刻机、EUV掩模和EUV光刻胶,这三项是分开的,不是整合在一起的。

而有意思的是,这三项核心技术,日本掌握了其中两项,而荷兰掌握了1项。

ASML掌握的这一项,很简单,就是EUV光刻机,毕竟目前全球也只有ASML能够制造出EUV光刻机来,EUV光刻机是荷兰ASML的独家生意。

而日本掌握了EUV掩膜、EUV光刻胶。对于EUV光刻胶,大家应该经常听说了,日本也是全球唯一能够生产的,和荷兰的EUV光刻机一样,拿下了全球100%的市场份额。

EUV掩膜是什么呢?EUV掩膜是什么呢?它是芯片进行光刻时的母板,制造芯片时,先要制造出掩膜,再用光线来照射掩膜,最终将上面的电路上,刻到晶圆上。

但EUV掩膜,可不仅仅是一张膜板这么简单,是一整套系统,包括EUV 薄膜(Pellicle)等组成,其中EUV 薄膜是一种超薄薄膜形态的、需要定期更换的高端消耗品,用来保护掩膜板,非常有技术难度,也是整套EUV掩膜系统中的核心。

而半导体材料,可是日本的强项,所以日本的厂商在EUV 薄膜这方面最强,拿下了全球大部分份额。

当然,目前也有厂商,在研究其它的技术各材料来替代EUV 薄膜,比如石墨烯EUV薄膜、碳纳米管EUV薄膜等,但至少目前还无法与日本的企业媲美。

可见,要进入5nm,我们要补的课还很多,还要攻克很多技术才行,先别沸腾,路得慢慢的一步步走。

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