天合光能获得实用新型专利授权：“一种板式ALD设备”
创始人
2025-04-22 03:40:59
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示天合光能（688599）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种板式ALD设备”，专利申请号为CN202421521176.7，授权日为2025年4月22日。
专利摘要：本实用新型提供一种板式ALD设备，该板式ALD设备包括：硅片分离装置、上料运输装置、工艺腔和下料运输装置，上料运输装置用于将硅片运输至硅片分离装置内进行硅片碎片的筛选，并将完整硅片运输至工艺腔内；工艺腔用于对完整硅片进行工艺操作；下料运输装置用于将进行工艺操作后的硅片运输至硅片分离装置内进行硅片碎片的筛选，硅片分离装置用于实现完整硅片和硅片碎片的分离。通过在上下料运输装置上设置硅片分离装置，实现了上料过程中和下料过程中硅片碎片与完整硅片之间的分离，极大降低了硅片碎片对通源气体的消耗，以及碎片造成下料皮带堵料的可能性，提高了ALD镀膜的批次效率。
今年以来天合光能新获得专利授权180个，较去年同期增加了31.39%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了8.44亿元，同比增3.2%。
数据来源：天眼查APP
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