金融界2023年12月1日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“一种用于检测角速度的装置、方法和系统“,公开号CN117146789A,申请日期为2022年5月。
专利摘要显示,本申请提供了一种用于检测角速度的装置、方法和系统,属于微机电系统MEMS传感器、惯性器件技术领域,以实现对多轴角速度的检测。该装置包括:第一检测单元、第二检测单元、第三检测单元、第四检测单元和弹性耦合单元。弹性耦合单元用于产生四波腹运动,当外界角速度输入装置时,检测单元能够在沿第三轴发生第一位移时输出第一信号,第一位移用于确定角速度的大小。本申请所揭示的装置,通过弹性耦合单元的四波腹运动,耦合四个检测单元实现平面内正交两个方向的线运动,能够实现多轴角速度的检测,同时四个检测单元两两中心对称分布,有助于提高集成度、灵敏度、水平双轴性能的一致性,降低交叉轴耦合误差。
来源:金融界