长鑫存储取得反熔丝专利，专利技术能简化工艺步骤提高生产效率_资讯

长鑫存储取得反熔丝专利，专利技术能简化工艺步骤提高生产效率

金融界

2023-12-13 11:33:08

金融界2023年12月12日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司取得一项名为“反熔丝单元及反熔丝阵列“，授权公告号CN113496988B，申请日期为2020年4月。

专利摘要显示，本发明涉及一种反熔丝单元，包括：反熔丝器件；第一选择晶体管，与反熔丝器件电连接；第二选择晶体管，第二选择晶体管与第一选择晶体管电连接；反熔丝器件、第一选择晶体管、第二选择晶体管具有相同厚度的栅极氧化层和栅极导电层。在进行反熔丝测试时第一选择晶体管和第二选择晶体管可以分压，因此第一选择晶体管和第二选择晶体管内部的栅极氧化层能够做的薄一些，与反熔丝器件内的栅极氧化层厚度一致，因此三者的栅极氧化层可以在同一步骤中同步生成，同理三者的栅极导电层也能够在同一步工艺中生成，避免了因为栅极氧化层厚度不一样导致的工艺复杂化，在满足反熔丝单元承受较高击穿电压的同时简化了工艺步骤提高了生产效率。

来源：金融界

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