原标题：至纯科技：与华为有合作 28纳米以下制程设备交付头部客户

中证智能财讯 至纯科技（603690）10月11日晚间公布投资者关系活动记录表，就公司湿法设备发展、半导体材料领域布局、是否与华为合作等问题做出详细答复。

目前公司湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程的高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。

湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300 SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次。

值得一提的是，在更先进的28纳米以下制程有数台订单交付客户，主要为国内逻辑领域头部客户。公司表示，随着下游客户在先进制程中的进一步发展，重点产品将有望放量。

谈及半导体材料发展情况，公司已经从系统集成延伸至盈利能力更强的材料端，2022年初建成国内第一座电子级大宗气供应工厂，目前已稳定运行一年多，每年可贡献稳定的营收，这是国内完全自主建设的第一座ONSITE大宗气供应工厂，公司继续会在电子气电子化学品方面拓展业务及品类，增加电子材料端的业务投入。

最后，在是否与华为合作的问题上。公司明确表示，与国内头部客户均有合作，华为在列，主要提供系统集成业务和制程设备机台。