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华为公司申请电子源专利，提升电子源的稳定性

金融界

2024-01-16 20:01:07

金融界2024年1月16日消息，据国家知识产权局公告，华为技术有限公司申请一项名为“电子源、控制方法、芯片检测设备及芯片光刻设备“，公开号CN117410163A，申请日期为2022年7月。

专利摘要显示，电子源、控制方法、芯片检测设备及芯片光刻设备。电子源可以包括：半导体层；设置在半导体层上的第一绝缘介质层；与半导体层电接触的发射电极；使所射电极发射电子的提取电极和光源。本实施例提供的电子源中，光源向发射电极与半导体层的交界处发射光束的强度由第一强度切换至第二强度的过程中，如果第一强度与第二强度差值的绝对值大于或等于设定值，光束的强度的变化可以打破吸附在发射电极表面的吸附分子的亚稳定状态，这就导致吸附分子有一定概率脱离范德瓦尔斯力的束缚离开发射电极的表面成为自由态的分子，进而实现发射电极表面清洁的目的，电子源的稳定性得以提升。

来源：金融界

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