深圳特区报近日报道，深圳市纳设智能装备股份有限公司（以下简称“纳设智能”）在碳化硅装备技术上取得了突破。

当前碳化硅凭借优异性能在新能源汽车、智能电网等下游领域展现出巨大应用潜力，然而应用于碳化硅材料生产核心环节的外延设备其国产化之路却面临诸多阻碍，高温沉积均匀性设备稳定性等核心技术长期受制于人。

面对困境，纳设智能创始人陈炳安带领团队自主研发可独立控制的多区进气系统，显著提升了设备工艺的均匀性，并通过与深圳先进院成立联合实验室成功将碳化硅外延设备工艺良率提升至98%。

针对进口碳化硅外延设备耗材成本高、维护复杂的痛点，纳设智能推出创新的反应腔室设计，使耗材成本降低30%，同时大幅降低维护难度。

数年间，陈炳安带领团队攻克技术壁垒成功研发5款化学气相沉积设备，填补了国内先进材料产业链上游关键设备的空白。

目前，纳设智能的碳化硅外延设备已实现全面产业化。在光伏钙钛矿领域，纳设智能也正全力推进大尺寸设备研发，预计年内实现产品上市。

（文/集邦化合物半导体整理）

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