10月16日,A股光刻机板块迎大幅下挫,蓝英装备跌超12%,波长光电、张江高科等跟跌。
消息面上,日本佳能公司10月13日宣布推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造设备,该设备执行电路图案转移,这是最重要的半导体制造工艺。佳能表示,该设备采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造5nm芯片。换句话说,不用EUV光刻机,也能造5nm芯片了。
那么纳米印刷技术和EUV光刻技术有什么不同呢?
简单来说,EUV光刻技术是通过光学投影的方式,在硅晶圆上形成图案;而纳米印刷技术则是通过压印的方式,在硅晶圆上形成图案。因为它不使用镜头,所以可以以比现有曝光工艺更低的成本实现精细工艺。纳米压印替代的是光刻环节,只有光刻的步骤被纳米压抑技术代替,其他的刻蚀、离子注入、薄膜沉积这些标准的芯片制造工艺是完全兼容的,能很好的接入现有产业,不用推翻重来。
佳能公司表示,纳米印刷技术有很多优势:1、它可以大幅降低设备成本和耗电量(纳米印刷技术的耗电量只有EUV光刻技术的10%,而设备投资也只有EUV设备的40%);2、纳米印刷技术可以提高芯片的性能和可靠性。它可以直接在硅晶圆上形成图案,不需要经过多次曝光和蚀刻等步骤。这样就可以减少图案之间的误差和变形,提高芯片的精度和稳定性。
此外,佳能的NIL技术使图案的最小线宽为14nm,相当于5nm节点,而随着掩模技术的进一步改进,NIL有望使电路图案化的最小线宽为10nm,这对应于2nm节点。市场分析指出,未来当光学光刻真正达到极限难以向前时,纳米压印技术或将是一条值得期待的路线,而那时,芯片制造或许也会迎来全新的范式,一切都会被颠覆。
受此消息影响,A股纳米压印相关概念股汇创达、美迪凯、苏大维格等逆势走强。
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