江苏京创申请晶圆减薄方法专利,提高了研磨效率
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2025-08-17 08:21:27

金融界2025年8月16日消息,国家知识产权局信息显示,江苏京创先进电子科技有限公司申请一项名为“晶圆减薄方法”的专利,公开号CN120480671A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种晶圆减薄方法。晶圆减薄方法包括如下步骤:S1:对晶圆的正面进行半切割;S2:在晶圆的正面贴覆保护膜,保护膜的厚度大于或等于215μm;S3:将晶圆上料至减薄机的研磨工位,减薄机对晶圆的背面进行研磨,且减薄机的主轴转速为3500rpm~4500rpm。采用DBG工艺对超薄晶圆进行减薄,通过在半切割的晶圆的正面贴覆厚度大于或等于215μm的保护膜,以提高对晶圆的支撑效果,降低晶圆在减薄过程的应力释放和晶圆翘曲的问题。通过提高减薄机的主轴转速,增大了减薄过程的磨削力,提高了研磨效率,进一步减小了局部应力,避免晶圆出现破片、碎片等缺陷,提高了晶圆的产品良率。

天眼查资料显示,江苏京创先进电子科技有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1007.6944万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏京创先进电子科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目40次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息253条,此外企业还拥有行政许可8个。

来源:金融界

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