长鑫存储申请石英管清洗装置专利，提高清洗效率并节省清洗液_资讯

长鑫存储申请石英管清洗装置专利，提高清洗效率并节省清洗液

金融界

2024-03-24 17:55:41

金融界2024年3月22日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“石英管清洗装置、雾化喷淋头及其雾化方法“，公开号CN117732628A，申请日期为2022年9月。

专利摘要显示，本公开涉及一种石英管清洗装置、雾化喷淋头及其雾化方法，雾化喷淋头包括：本体、第一开关组件以及第二开关组件。本体设有混合腔室、进液口、进气口与雾化排气孔，进液口、进气口与雾化排气孔分别和混合腔室相连通。第一开关组件设置于本体上，用于控制进液口打开或关闭。第二开关组件设置于本体上，用于控制雾化排气孔打开或关闭。当混合腔室内部的气压达到一定程度后，第二开关组件打开，混合腔室内部的气体与清洗液的混合物经过雾化排气孔向外排出，并在经过雾化排气孔的过程中形成雾化气体，向外排出的雾化气体对石英管的清洗效果较好，清洗效率较高，同时能节省清洗液，且雾化喷淋头的产品结构较为简单，成本低廉。

来源：金融界

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