歌尔微申请一种MEMS传感器专利，增强抗层间剪切能力_资讯

歌尔微申请一种MEMS传感器专利，增强抗层间剪切能力

金融界

2024-03-30 22:39:10

金融界2024年3月30日消息，据国家知识产权局公告，歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器“，公开号CN117776087A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开一种MEMS传感器，其中，所述MEMS传感器包括基板、固定部以及活动部，所述固定部包括叠设于所述基板上的绝缘层与功能层，且所述绝缘层位于所述功能层与所述基板之间，所述功能层与所述绝缘层之间设置有锚固结构，以限制所述功能层与所述绝缘层之间的相对活动；所述活动部包括设置于所述功能层侧向的感应件，且所述感应件与所述功能层之间存在间隙，使得所述感应件可在所述间隙处活动，且所述功能层限制所述感应件的活动幅度。本发明旨在提供一种增强抗层间剪切能力的MEMS传感器。

来源：金融界

上一篇：“智能巡视+全光网络”率先突围变电站，驱动力来自于何处

下一篇：又一生物医药领域龙头企业落户闵行！

歌尔微申请一种MEMS传感器专利，增强抗层间剪切能力

相关内容

热门资讯