长鑫存储申请湿法单片制程专利，提高产品良率_资讯

长鑫存储申请湿法单片制程专利，提高产品良率

金融界

2024-05-02 18:23:56

金融界2024年4月30日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“湿法单片制程设备、基板承载座以及基板固定件”，公开号CN117954372A，申请日期为2022年10月。

专利摘要显示，本公开涉及一种湿法单片制程设备、基板承载座以及基板固定件，基板固定件包括本体。本体设有排液通道，本体设有抵接部，抵接部设有进液口，进液口的相对两个口壁用于与基板边缘抵接固定，进液口与排液通道相连通，排液通道用于将进液口进入的处理液向外引出。由于抵接部设有与排液通道相连通的进液口，并通过进液口的相对两个口壁与基板边缘抵接固定，如此，能减小抵接部与基板边缘的接触面积，同时也能保证对基板进行稳固夹持；基板表面上的处理液向基板边缘流动过程接触到抵接部时，会直接通过进液口进入到排液通道，并由排液通道将由进液口进入的处理液向外引出，从而减小处理液回溅，进而能提高基板的生产加工质量，提高产品良率。

来源：金融界

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