氧化镓入选浙江省重大科技成果
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2025-12-05 18:42:05

近期,浙江省科技厅公布2025年度重大科技成果,杭州镓仁半导体有限公司的氧化镓系列成果入选。

图片来源:镓仁半导体

半导体材料的发展历经数代更迭:从以硅、锗为代表的第一代,到以砷化镓等化合物为代表的第二代,再到以碳化硅、氮化镓为代表的第三代。如今,被誉为“第四代半导体”的氧化镓,凭借其更耐高温、更耐高压、性能更优等特性,成为下一代电力电子器件领域的“理想材料”,备受全球关注。

不过,作为新兴材料,氧化镓仍面临较大技术难题。比如氧化镓在高温熔融状态下性质很不稳定,用主流方法很难让它规规矩矩地结晶。同时,它的结晶过程就像在锻造一件精密瓷器,对“火候”(温度)和环境的要求极高,稍有偏差,晶体就会产生缺陷甚至碎裂,难以得到完整、高质量的单晶。因此,稳定制备大尺寸氧化镓单晶的挑战,曾是其迈向大规模应用的主要瓶颈。

这一背景下,杭州镓仁半导体有限公司聚焦氧化镓单晶制备技术攻关,依托自主研发的“铸造法”,在材料生长上取得重要突破。该方法具备成本低、效率高、工艺简单可控、尺寸易放大等优势。

今年初,杭州镓仁半导体有限公司团队成功发布全球首颗8英寸氧化镓单晶,标志着我国在超宽禁带半导体领域实现“换道超车”。该成果可与现有硅基8英寸产线完全兼容,为氧化镓从实验室走向规模化应用奠定了坚实基础。

(文/集邦化合物半导体整理)

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