至纯科技取得晶圆干燥装置专利,实现氮气在晶圆片上的均匀分布
创始人
2024-06-08 02:21:05
0

金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,上海至纯洁净系统科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆干燥装置“的专利,授权公告号CN221099173U,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆干燥装置,包括:干燥槽体及至少一组气体喷流模组;气体喷流模组设置于干燥槽体顶部的盖体,用于向干燥槽体内喷射氮气,包括氮气导流管及H型氮气分流管;H型氮气分流管包括沿干燥槽体长度方向平行分布的纵部,及连接纵部的横部;氮气导流管连接外部氮气加注管,并与横部的中间位置连接;述纵部面向干燥槽体设有若干均匀排列的氮气喷淋口,且氮气喷淋口的直径自横部位置向横部两侧沿纵部的长度方向渐进式增大。本实用新型中氮气导流管与H型氮气分流管建立紧凑的配置方式,改善干燥气流路径,使得氮气均匀分布在晶圆片上,减少了氮气充盈干燥槽体的时间。

来源:金融界

相关内容

热门资讯

什么是智慧监督大数据分析系统? 智慧监督大数据分析系统是一种利用现代信息技术,尤其是大数据技术,来提升监督工作的效率和精准度的平台。...
建设新网络,浇灌新业态!华为与... 摆脱了单一业务的限制,广电行业正在以内容服务商+网络运营商的新姿态拓展自身发展的空间和上限。与此同时...
湖北首个人形机器人年底亮相 湖北日报讯(记者张真真、通讯员曾宪雯、严浩)10月17日,记者从武汉东湖高新区新闻发布会上获悉,湖北...
山西电力首个IEEE国际标准获... 本报讯(记者杜鹃)日前,在电气与电机工程协会标准委员会(IEEE-SA)第25次标准讨论会议上(Ne...
数据建模做什么?详解大数据领域... 在当今数据驱动的世界中,数据建模扮演着至关重要的角色。数据建模不仅是创建组织数据的结构化表示,更是帮...
恒生电子白硕:“站在巨人的肩膀... 10月18日,恒生电子股份有限公司首席科学家、研究院院长白硕在第五届1024资管科技开发者大会(IT...
均腾科技取得应急照明控制柜专利... 金融界2024年10月18日消息,国家知识产权局信息显示,均腾(天津)科技有限公司取得一项名为“一种...
喜报!武汉宽泛研发中心成功入选... 近日,武汉市科技创新局公布武汉市企业研究开发中心备案名单,武汉宽泛能源科技有限公司企业研究开发中心成...
嫦娥六号任务月壤样品首次亮相海... IT之家 10 月 18 日消息,第 75 届国际宇航大会于 10 月 14 日在意大利米兰会议中心...
国雄资本董事长姚尚坤:看好粤港... 今年是《粤港澳大湾区发展规划纲要》发布五周年之际。在过去五年的发展历程中,粤港澳三地同心协力,携手共...
【天眼专访】探索月球背后的秘密   9月28日,中国载人航天工程办公室面向社会发布登月服征名活动,并首次公开中国登月服外观。登月服主...
2000多台农机装备亮相第31... 10月25日-29日,第三十一届中国杨凌农高会将在陕西杨凌举行,今年农高会上设立了农业智能装备专题展...
2024年Q3全球智能手机销量... 【环球网科技综合报道】10月18日消息,根据Counterpoint Research的最新智能手机...
热门华为智慧PC盘点 双十一购... 今年双十一正式拉开帷幕,不少小伙伴准备“剁手”买心仪产品,笔记本成为不少学生和白领热门购物选择。得益...
5G轻量化技术(RedCap)... 今天分享的是:5G轻量化技术(RedCap)行业解决方案白皮书 报告共计:50页 该白皮书主要介绍了...
938Gbps!到底6G网络有... 2024-10-18 15:49:10 作者:姚立伟 近日,伦敦大学学院的科学家们取得了一项引人...
朝阳区检察院走进北京航空航天大... 朝阳区检察院为落实“走进校园”专项工作,深入实施数字检察战略,结合实践分享当今新兴前沿热点技术为检察...
亚马逊爱尔兰设立 re:Cyc... IT之家 10 月 18 日消息,亚马逊当地时间 14 日宣布在爱尔兰首都都柏林开设其在美国本土外的...
携手三大朋友圈,2025年东方... 更都市 更综合 更国际 2025年元旦起,东方卫视将以全新面貌与观众共启新篇章。 10月17日下午...
OPPO ColorOS 15... 10月17日,OPPO召开ODC开发者大会,正式发布了全新的ColorOS 15操作系统。作为OPP...