国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种机台外延行为匹配方法”的专利，公开号CN121204816A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种机台外延行为匹配方法，对比第一外延机台和第二外延机台得到的外延层厚度、外延层Y含量和Z含量随流速的变化关系；调整与Z含量比例关系拟合的机台变量关系对应的外延工艺变量，使第一外延机台和第二外延机台的第二外延层Z含量、Y含量匹配。本发明对比不同外延机台的外延层元素含量变化关系，精确调节相关变量匹配外延行为，减少匹配用的图案化晶圆数量，提高匹配效率；同时对中心位置和边缘位置元素含量分布差异调节匹配，提高外延行为整体匹配效果；另外元素含量匹配后调整外延层厚度，使外延层厚度满足工艺需求，提高不同外延机台对实际生产的灵活适应性；最后图案化晶圆检验外延行为匹配效果，保证外延行为匹配准确性。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息919条，此外企业还拥有行政许可56个。

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来源：市场资讯