青禾晶元申请复合衬底制备方法专利,满足器件小型化的要求
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2026-01-12 16:20:48

国家知识产权局信息显示,青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司申请一项名为“一种复合衬底的制备方法、复合衬底及声表面波滤波器”的专利,公开号CN121308698A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明提供了一种复合衬底的制备方法、复合衬底及声表面波滤波器,所述的制备方法包括:提供第一衬底、第二衬底与压电晶圆,对第二衬底进行热氧化处理,在第二衬底的待键合面形成氧化层,随后在第二衬底靠近氧化层的一端进行离子注入处理,由离子注入层隔离形成第一有用层与第一复用层;将第一衬底与第二衬底的氧化层进行一次键合得到第一组合体,随后进行一次裂片处理,使离子注入层开裂,得到第一复用层与中间键合体;将压电晶圆与中间键合体中第一有用层进行二次键合,以在压电晶圆与第一有用层的键合界面形成纳米孔层得到复合衬底。本发明制得复合衬底的界面键合能高,缓解了杂波散射,满足器件小型化的要求。

天眼查资料显示,青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司,成立于2021年,位于晋城市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司参与招投标项目3次,专利信息58条,此外企业还拥有行政许可6个。

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来源:市场资讯

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