（来源：沈阳日报）

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本报讯（沈阳日报、沈报全媒体记者黄超）近日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“中科仪”）首次公开发行股票并在北京证券交易所上市的申请获审议通过。这是沈阳集成电路装备产业发展的又一里程碑，也为辽宁半导体设备板块注入了新的资本活力。

中科仪IPO过会，对沈阳半导体产业而言具有重要意义。一方面，它进一步丰富了沈阳半导体装备领域的上市公司矩阵，强化了产业链关键环节的资本支撑能力，助力区域产业集群向更高层次发展。另一方面，作为国内干式真空泵领域的领军企业，中科仪的上市将带动上下游协同创新，增强沈阳在全国半导体设备格局中的话语权，推动产业自主可控进程。

对企业自身来说，上市意味着获得了重要的融资平台。据披露，中科仪拟募集资金约8.25亿元，主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设等方向。这将有力支持企业扩大产能、加强研发、拓展市场，进一步提升其在集成电路制造关键部件领域的国产化替代能力和国际竞争力。

中科仪是我国真空技术及真空类科学仪器领域的国家战略科技力量。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，承担过多项国家重大科技基础设施的研制任务，在干式真空泵领域打破了国外长期垄断。其产品已广泛应用于14nm先进逻辑芯片、128层以上3D NAND等先进制程，并实现对中国主流晶圆制造企业的大批量供应，部分产品已通过台积电、英特尔等国际头部客户的验证。　　，中科仪成功过会北交所IPO）

沈阳作为我国重要的集成电路装备产业基地，近年来在半导体设备领域发展迅速，已形成以拓荆科技、芯源微、富创精密、中科仪等为代表的龙头企业集群，覆盖薄膜沉积、涂胶显影、精密零部件、真空设备等关键环节。截至目前，沈阳集成电路产业集群重点企业已达57家，构建起“6+N”产业发展体系，区域创新能力与产业集聚效应日益凸显。随着中科仪等企业陆续登陆资本市场，沈阳正逐步夯实在中国半导体设备领域“第三极”的地位，向着建设具有国际影响力的集成电路装备产业基地稳步迈进。