X射线成像装备的“心脏”，是一个小小的传感器。从医疗领域的DR、CT等设备，到工业无损检测仪器，再到公共安全领域的安检装备，这个部件的性能直接影响成像速度、分辨率与成本，是现代高端装备的“感知核心”。

“X射线成像传感器可以将无形的X射线转化为电信号，再经由数字化处理，形成用于诊断与判读的清晰图像。整体尺寸约为一张A4纸大小。”芜湖长信科技股份有限公司研发中心总监俞良介绍。

长期以来，这类高端传感器生产技术被国外垄断，成为制约我国高端医疗及检测装备产业链升级的关键核心技术难题。长信科技联合多所高校和企业，历经三年协同攻坚，终于成功突破这一技术壁垒。

攀登技术高峰的道路并不平坦。“团队在研发大面积动态X射线成像传感器时，遇到氧化铟镓锌（IGZO）薄膜晶体管稳定性难题，器件长时间运行后会出现性能‘漂移’。”俞良说，这就如同传感器的“眼睛”，蒙上了一层挥之不去的薄雾，无法满足持续、可靠的动态成像需求。

为此，团队日夜攻坚，经历了无数次实验与摸索，一个偶然的发现带来了转机——调整成膜腔室氧气流量，能改善薄膜稳定性。

“之后，团队连续多日开展高强度实验，最终找到氧气流量和成膜温度的最佳组合，成功解决氧空位分布不均问题，器件稳定性得到显著提升，传感器动态成像需求也得到满足。”俞良说，这一突破不仅攻克了技术难关，更增强了团队信心和凝聚力。

经过三年研发攻关，长信科技研发团队攻克了高分辨率像素设计、高灵敏度光电二极管开发以及关键工艺和设备改造等技术难题，在设计、工艺、设备等方面均实现技术突破。

“公司自主研制的X射线成像传感器，在设计上优化氧化铟镓锌薄膜晶体管的宽长比和叠层结构设计，成功将像素尺寸压缩到100微米。”俞良介绍，工艺上引入平坦层并优化成膜、黄光、刻蚀工艺，将光电二极管的开口率提高至68%以上，显著提升了探测效率和信噪比；设备改造方面，优化了其曲率和出气孔结构参数，使气体在产品表面的分布更加均匀，从而实现了更均匀的成膜效果。

“这项成果成功填补了国内空白，打破了产品长期依赖进口的局面，有力推动了高端医疗设备及工业检测装备产业链的自主化升级。”俞良告诉记者，医疗领域，它已应用于数字减影血管造影等设备，为医生提供着高分辨率、低剂量的实时动态影像，助力精准诊疗。工业无损检测领域，它服务于新能源汽车动力电池检测等，为产品质量与安全保驾护航。

展望未来，俞良表示，今后将继续深化技术研发，优化IGZO薄膜晶体管技术，提升产品性能并拓展应用场景，同时深耕国内市场并逐步拓展国际市场，完善产业链布局。

X射线成像传感器的突破，是我省科技创新攻坚计划项目助力高端装备产业发展的生动注脚。近年来，我省围绕重点产业“最紧急、最紧迫”问题，系统部署并组织实施了省级科技创新攻坚计划，在高性能零部件、高端科学仪器、高端集成电路芯片、新型显示等领域，布局了一批项目，支持龙头企业牵头联合产业链上下游企业、高校院所开展关键核心技术协同攻关，有力推动了我省装备制造业向高端化、智能化、绿色化迈进。

2025年，在装备制造业方面，我省布局29个科技创新攻坚项目，总投入14.83亿元，其中省财政支持1.97亿元，市县财政支持0.45亿元，承担单位自筹12.41亿元。企业主导的产学研深度融合机制，加速全链条系统性突破关键核心技术，着力打通束缚新质生产力发展的堵点卡点，为高水平创新型省份建设提供强力支撑。（记者 鹿嘉惠 汪永安）