西湖仪器取得检测晶圆剥离状况专利,避免对后续工序造成影响
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2026-02-04 17:40:45

国家知识产权局信息显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司取得一项名为“一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置”的专利,授权公告号CN223872748U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置。该剥离装置包括:底座、输送组件和剥离组件;输送组件包括传输件和两条平行设置的导轨;两条导轨设置在底座上,沿前后方向延伸;传输件滑动设置于导轨上,顶面设有用于承载晶锭的底托;剥离组件包括升降组件、支撑件、夹具和分设于输送组件左右两侧的对射式光学传感器;升降组件至少部分设置在底座上;支撑件至少部分设置在升降组件上,可沿升降组件的上下方向运动;夹具至少部分设置在支撑件底面;对射式光学传感器至少部分设置在升降组件的底部。通过上述设置,剥离装置在剥离晶圆时,能够检测晶锭是否随晶锭一同被夹具夹起而脱离托盘,以便工作人员及时对异常状况进行处理,避免对后续工序造成影响。

天眼查资料显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1315.779万人民币。通过天眼查大数据分析,西湖仪器(杭州)技术有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息51条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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