奥普托科申请晶圆校准方法专利,能实现晶圆的精确校准
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2026-02-08 07:20:19

国家知识产权局信息显示,北京奥普托科微电子技术有限公司申请一项名为“晶圆校准方法、设备及存储介质”的专利,公开号CN121482147A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆校准方法、设备及存储介质,涉及半导体集成电路技术领域。该方法包括:分别采集待校准晶圆上多个预设边缘位置的边缘区域图像,得到多个边缘区域图像;针对每个边缘区域图像,提取沿该边缘区域图像对应采样方向上像素点的灰度分布曲线;根据灰度分布曲线的多个梯度,确定每个边缘区域图像中的多个边缘特征点的空间位置;对多个边缘区域图像中同一梯度对应的边缘特征点进行圆周拟合,得到每个梯度对应拟合圆圆心位置;根据多个梯度对应拟合圆圆心位置进行圆心位置拟合,在拟合结果满足收敛条件的情况下,输出待校准晶圆的目标圆心位置。本方法,基于晶圆边缘特征拟合定位同心圆的圆心,能实现晶圆的精确校准。

天眼查资料显示,北京奥普托科微电子技术有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本18027.5602万人民币。通过天眼查大数据分析,北京奥普托科微电子技术有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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