清软微视申请晶圆定位装置及方法专利,便于对晶圆进行定位
创始人
2026-06-20 12:32:30

国家知识产权局信息显示,清软微视(杭州)科技有限公司申请一项名为“一种晶圆定位装置及晶圆定位方法”的专利,公开号CN122249010A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆定位装置及晶圆定位方法,晶圆定位装置,包括支撑支架;对称设置的夹持单元;定位单元以及驱动单元;定位单元包括沿第一方向相对设置的旋转驱动件以及设于相对设置的旋转驱动件之间的多个定位件;驱动单元用于驱动旋转驱动件和定位件沿第二方向靠近或远离晶圆。晶圆定位方法包括以下步骤:控制对称设置的夹持单元沿第一方向移动,夹持晶圆;控制驱动单元沿第二方向靠近晶圆,带动定位单元与晶圆的边缘贴合;启动旋转驱动件带动晶圆转动,使定位件与晶圆边缘的定向标记抵接,定位晶圆;控制驱动单元沿第二方向远离晶圆,完成晶圆定位。本发明便于对晶圆进行定位。

天眼查资料显示,清软微视(杭州)科技有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1157.894737万人民币。通过天眼查大数据分析,清软微视(杭州)科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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