盛美上海获得发明专利授权:“电镀装置和电镀方法”
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2026-06-22 13:40:16

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示盛美上海(688082)新获得一项发明专利授权,专利名为“电镀装置和电镀方法”,专利申请号为CN202080098522.3,授权日为2026年6月19日。

专利摘要:本发明揭示了在具有图形结构的基板上金属沉积的电镀装置和电镀方法。在一个实施例中,电镀装置包括用于容纳电镀液的电镀槽、用于夹持基板的基板保持模组,以及至少一个驱动装置,用于在基板浸入电镀液中被电镀的过程中,驱动基板保持模组与基板一起水平振动和/或竖直振动。本发明通过振动基板保持模组,能够加强基板电镀过程中的质量传递,从而提高图形结构上的电镀速率和电镀均匀性。

今年以来盛美上海新获得专利授权18个,较去年同期增加了200%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了10.03亿元,同比增37.64%。

通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目181次;财产线索方面有商标信息39条,专利信息724条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源:天眼查APP

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