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恒运昌：截至2025年年底，公司已授权专利共296项

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2026-07-14 12:50:49

证券日报网7月13日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累，公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构三方面构建了底层通用的3大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出8大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底，公司已授权专利共296项，包括发明专利123项，实用新型专利72项，外观设计专利101项。截至2025年年底，公司已累计申请490项专利，其中发明专利262项，占比53.47%。

（编辑任世碧）

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