迈为股份取得一种硅片校正机构专利,提升校正精度
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2024-08-16 19:01:15

金融界2024年8月14日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“一种硅片校正机构“,授权公告号CN111681987B,申请日期为2020年7月。

专利摘要显示,本发明涉及一种硅片校正机构,包括:底座;两个推片件,均可滑动地设在所述底座上,两个所述推片件相对设置;转动组件,设在所述底座上;两个连接件,与两个所述推片件相对应,所述连接件连接在所述转动件与所对应的所述推片件之间;所述转动件转动时,通过两个所述连接件带动两个所述推片件相互靠近或相互远离,两个所述推片件用于在相互靠近时对硅片夹持校正。采用转动组件和连接件的连接,使得转动组件转动时,可以驱动两个推片件同时运动,节约了校正机构的成本。同时转动组件与连接件刚性连接可以减小运动误差,提升校正精度。

来源:金融界

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