胜利精密取得阴极旋转机构专利，结构简单，安全性能好，便于维护_资讯

胜利精密取得阴极旋转机构专利，结构简单，安全性能好，便于维护

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2024-09-17 20:01:49

金融界2024年9月15日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州胜利精密制造科技股份有限公司取得一项名为“阴极旋转机构“，授权公告号CN107254670B，申请日期为2017年7月。

专利摘要显示，本发明公开了阴极旋转机构，包括：阴极源总成，安装在真空溅射腔室内壁上；阴极靶筒，一端连接至所述阴极源总成并可沿所述阴极源总成旋转；穿设在所述阴极靶筒内的循环水回水管，其连接至设置在所述阴极源总成上的供水管，且连通至所述循环水回水管与所述阴极靶筒之间的密闭空间，所述密闭空间连通至设置在所述阴极源总成上的出水管；设置在所述循环水回水管外壁上的多个磁铁；及设置在所述阴极靶筒另一端的驱动装置，以用于驱动所述阴极靶筒旋转。本发明提供的阴极旋转机构，结构简单，安全性能好，便于维护。

来源：金融界

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