金融界2024年4月1日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“半导体器件及其形成方法“,授权公告号CN112750856B,申请日期为2020年10月。
专利摘要显示,一种形成半导体器件的方法,包括:在半导体衬底上方沉积第一介电层;在第一介电层上方沉积第一电极层;蚀刻第一电极层,以形成第一电极,和与第一电极横向地分隔开的第二电极;在第一电极和第二电极上沉积自旋轨道转矩(SOT)材料;在SOT材料上沉积磁隧道结(MTJ)层;在MTJ层上沉积第二电极层;蚀刻SOT材料,以形成从第一电极至第二电极延伸的SOT层;蚀刻MTJ层,以在SOT层上形成MTJ堆叠件;以及蚀刻第二电极层,以在MTJ堆叠件上形成顶部电极。本申请的实施例另一方面提供一种半导体器件。
来源:金融界