科技媒体Tom's Hardware报道称,特斯拉首席执行官埃隆马斯克在本周接受《Moonshots》采访时透露,特斯拉拟建的TeraFab超级工厂将具备生产2nm制程芯片的能力。马斯克还表示,该工厂将颠覆传统芯片制造的“洁净室”标准,他甚至可以在里面“一边吃汉堡、一边抽雪茄”。
洁净室是芯片制造的关键环境,通过特殊过滤系统严格控制空气中的灰尘、微生物和悬浮颗粒。马斯克提出“晶圆隔离”方案,主张将保护重点从整个房间缩小到晶圆本身,确保晶圆在所有加工环节中始终处于密封隔离状态。他认为,如果晶圆与外部环境完全物理隔绝,车间本身的洁净度要求可以降低,维持庞大且昂贵的ISO级洁净室不仅效率低下,而且并非必要。
然而,行业专家对这一设想持高度怀疑态度。依据ISO标准,尖端芯片制造需在ISO 1级或2级环境中进行,每立方米空气仅允许个位数微粒存在。即便实现晶圆隔离,人类呼吸产生的飞沫、烟雾中的数亿微粒以及食物带来的有机污染仍会弥漫在环境中。此外,极紫外(EUV)光刻机等核心设备的精密反射镜对环境极度敏感,任何泄漏的化学物质或微粒都可能导致设备故障或良率大幅下降。