8月10日消息，据媒体报道，SpaceX近日宣布，将与特斯拉合作，初期投入168亿美元，在美国得克萨斯州共建一座名为“Terafab”的芯片制造设施。

随后有博主爆料称，根据Terafab发布的信息推测，马斯克可能计划采用自由电子激光器（FEL） 技术路线，直接挑战ASML现有的LPP EUV光源方案，颠覆传统EUV光刻技术的垄断格局。

马斯克本人随后在社交平台发文“FEL FTW”（FEL必胜），被外界视为对这一推测的侧面印证。结合Terafab细长的厂房设计及马斯克的表态，FEL技术路线成为当前最热门的猜想方向。

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FEL技术的优劣势

尽管目前仍属猜测，FEL技术本身的特性已引发业内热烈讨论。该技术具备高功率、高相干性、波长可调谐以及更高能效等优势，理论上可将光刻光源从当前主流的13.5nm推向6nm乃至更短波长，大幅延伸摩尔定律的生命周期。

然而，其产业化前景同样面临巨大挑战——庞大的加速器系统、高昂的建设成本以及量产稳定性，仍是横亘在商用化道路上的现实难题。

据SpaceX官网介绍，Terafab将集先进逻辑芯片和存储器件制造、封装与测试于一体，旨在实现芯片的快速迭代与部署，为SpaceX未来的航天计算需求提供自主可控的供应链支撑。

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FEL技术对比传统LPP EUV

因此，美国、中国、日本等都在积极研究替代方案，FEL自由电子激光器就是广为看好的EUV光源，包括振荡器、自放大自发辐射两大技术路线。

它可以产生超过10kW功率的EVU光源功率，可同时满足10台光刻机的需要，而且不会产生锡滴碎片而污染环境。

其实，ASML早在十年前就考虑过FEL EUV光源路线，但最终认为风险偏高，而走向了LPP EUV光源。

FEL与LPP的成本对比

有关研究显示，10kW功率的FEL EUV光源的建设成本约为4亿美元，每年运营成本4000万美元。

相比之下，250W功率的LPP EUV光源的建设成本约为2000万美元，每年运营成本1500万美元。

算下来，EFL路线的建设成本只有LPP路线的1/2，运营成本更是1/15，综合成本约为1/3。

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xLight的研发进展

Intel前任CEO帕特·基辛格已经加盟xLight并担任执行董事长。

xLight是一家半导体行业创业公司，主要业务是面向EUV极紫外光刻机，开发基于直线电子加速器的自由电子激光(FEL)技术光源系统，可显著降低成本。

基辛格加盟的xLight公司，正在研发基于ERL(能量回收直线加速器)的FEL EUV光源系统，可提供1000W的功率，四倍于ASML，从而将单块晶圆光刻成本降低约50％，而且单个光源系统就能支持20台光刻机，寿命也长达30年。

xLight FEL EUV光源系统的另一个好处，就是兼容现有的ASML EUV光刻机，可以直接整合，预计2028年可接入ASML光刻机，并开始生产晶圆。

xLight公司规模不大，但是团队在光刻和加速器领域拥有丰富经验，包括来自斯坦福直线加速器等的资深研究人士，首席科学家Gennady Stupakov博士曾在去年拿到IEEE核能和等离子体科学学会粒子加速器科学技术奖。