江苏艾匹克取得用于硅外延生长的水冷装置专利,保证降温效率更高
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2025-02-20 18:41:35

金融界2025年2月20日消息,国家知识产权局信息显示,江苏艾匹克半导体设备有限公司取得一项名为“一种用于硅外延生长的水冷装置”的专利,授权公告号CN 222499465 U,申请日期为2024年5月。

专利摘要显示,本实用新型涉及一种用于硅外延生长的水冷装置,包括容纳箱,所述容纳箱的外部固定安装有水箱,所述容纳箱的底部固定安装有电机,所述电机的输出轴处固定安装有转盘,所述容纳箱的内部设置有降温机构。该用于硅外延生长的水冷装置,首先加工完成的硅外延会被放入转盘中此时电动推杆带动集水盒及高压喷头向下移动至靠近硅外延的位置,然后控制器驱动增压泵启动,冷水进入循环管中,在循环管中缓慢流动达到初步吸热降温的效果,升温的热水经过循环管回流至水箱中,同时控制器驱动导水管上的电磁阀启动使冷水经导水管进入集水盒由高压喷头喷出,对硅外延进一步进行降温,从而保证降温效率更高,此时升温的热水由回流管导入水箱中。

天眼查资料显示,江苏艾匹克半导体设备有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1500万人民币,实缴资本1057万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏艾匹克半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目21次,专利信息49条,此外企业还拥有行政许可5个。

来源:金融界

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